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前端預(yù)熱PECVD 返回列表頁(yè)

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更新時(shí)間：2023-05-16 07:54:47瀏覽次數(shù)：233次

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產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)

Plasma輔助法石墨烯制備設(shè)備

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備簡(jiǎn)介我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

詳情介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動(dòng)溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：

1、電子密度高10⁹-10¹²cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。

2、通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單

一、前端預(yù)熱器

使用溫度	400℃
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制。
加熱長(zhǎng)度	100mm
加熱原件	電阻絲

二、加熱爐

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長(zhǎng)度	440mm
恒溫長(zhǎng)度	200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

三、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷

四、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類(lèi)型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 sec，電特性：10 sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

五、低真空

空氣相對(duì)濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10^-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連