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行業(yè)產(chǎn)品

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上海新諾儀器設(shè)備有限公司


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科晶牌 VTC-100PA型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2026-02-03 09:12:56瀏覽次數(shù)：138次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝?？捎糜趶?qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。標(biāo)配1臺(tái)70升無(wú)油真空泵；可選購(gòu)加熱裝置，另加實(shí)價(jià)5000元

詳細(xì)介紹

沈陽(yáng)科晶 VTC-100PA型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)


儀器概述：

    VTC-100PA型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。


主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)

   VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

安裝條件

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口

 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

 3、氣：不需要

 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

 5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

   1、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。

   2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

   3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。

   4、設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。

   5、電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

   6、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

技術(shù)參數(shù)

   1、電機(jī)功率：350W

   2、速度范圍：500rpm-10000rpm

   3、程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

   4、增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

   5、時(shí)間范圍：0-60s

   6、吸盤：?19mm、?60mm

   7、本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-100℃；

        加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚丙烯；

        溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián)；

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：450mm×280mm×340mm；重量：20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

　真空吸盤（含O型圈）

2個(gè)

2

　中心定位器（含4個(gè)定位柱）

1個(gè)

3

　滴膠注射器（20ml）

1個(gè)

4

　注射器支架

1個(gè)

5

　無(wú)油真空泵

1臺(tái)

6

　橡膠管（含卡箍）

1根

可選配件

　過(guò)濾器（真空泵用）



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