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行業(yè)產(chǎn)品

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孚光精儀(中國(guó))有限公司


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光電測(cè)試探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)FPAPO-AP-200

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-03-03 07:18:57瀏覽次數(shù):265次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:1482條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:陳小姐 (銷售)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

這款光電測(cè)試探針臺(tái)是專業(yè)為8英寸和12英寸晶圓光電流測(cè)試設(shè)計(jì)的專業(yè)半自動(dòng)變溫光電探針臺(tái),可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環(huán)境下晶圓變溫測(cè)試和射頻測(cè)試,可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)芯片對(duì)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

這款光電測(cè)試探針臺(tái)是專業(yè)為8英寸和12英寸晶圓光電流測(cè)試設(shè)計(jì)的專業(yè)半自動(dòng)變溫光電探針臺(tái),可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環(huán)境下晶圓變溫測(cè)試和射頻測(cè)試,可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)芯片對(duì)準(zhǔn)。
光電測(cè)試探針臺(tái)特點(diǎn)
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測(cè)試溫度:-60℃~350℃
適合高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
可選擇芯片固定配件
可配備護(hù)罩,防止露水凝結(jié)
可配備屏蔽罩,提供較低噪音環(huán)境
配備專用測(cè)試軟件,提高晶圓測(cè)試效率
采用圖像識(shí)別技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)芯片對(duì)準(zhǔn)

光電測(cè)試探針臺(tái)應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測(cè)試:20KV DC/200A
RF射頻測(cè)試
高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
各種電阻測(cè)量,如sheet電阻測(cè)量
高溫和低溫環(huán)境下的溫度特性測(cè)試
可靠性測(cè)試,如TDDB
光電測(cè)試探針臺(tái)可選配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割機(jī)
各種光源
三目顯微鏡(標(biāo)配體視顯微鏡)
CCD相機(jī)
Probe card (4.5 inch square PCB)
光電測(cè)試探針臺(tái)可連接配合的測(cè)試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬(wàn)用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
光電測(cè)試探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)

型號(hào) AP-200 AP-300
晶圓卡片尺寸 ~8英寸 ~12英寸
XY位移臺(tái)行程(粗調(diào)) X:200mm, Y:400mm X:320mm, Y:500mm
XYZ位移臺(tái)控制精度 0.1μm 0.1μm
XYZ位移臺(tái)重復(fù)定位精度 ±2μm ±3μm
XY位移臺(tái)精度 ±5μm ±10μm
XY位移臺(tái)移動(dòng)速度 30㎜/sec(Max) 25㎜/sec(Max)
Z位移臺(tái)行程范圍 30mm 80mm
Z位移臺(tái)移動(dòng)速度 25㎜/sec(Max) 25㎜/sec(Max)
位移臺(tái)θ范圍 ±5deg ±6deg
θ分辨率 0.001度 0.000022294deg
尺寸 W760×D1000×H1020㎜ W880×D1260×H1030㎜
重量 400kg 800kg

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