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更新時間：2023-04-14 07:50:22瀏覽次數(shù)：672次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)TWINSCANXT:400G365nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種超高生產(chǎn)率的雙級光刻工具，專為350nm分辨率的300mm晶圓批量生產(chǎn)而設(shè)計
TWINSCAN XT:400G 365 nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種超高生產(chǎn)率的雙級光刻工具，專為350 nm分辨率的300 mm晶圓批量生產(chǎn)而設(shè)計。TWINSCAN平臺的雙晶圓級技術(shù)使一個晶圓的曝光和下一個晶圓的對準(zhǔn)和映射能夠并行進(jìn)行，從而實(shí)際上消除了開銷時間，并允許晶圓的連續(xù)圖案化。
此外，高強(qiáng)度5.5千瓦汞燈和快速工作臺通過限度地減少每個場的曝光掃描時間和場之間的步進(jìn)時間，確保了的生產(chǎn)率。液位傳感器與TWINSCAN調(diào)平方法相結(jié)合，實(shí)際上消除了內(nèi)模和邊緣模之間的差異，并確保整個300 mm晶圓的高成品率。高通量和產(chǎn)量與快速的十字線交換時間和批量流相結(jié)合，以提供的運(yùn)營成本。
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