青島佳鼎分析儀器有限公司
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更新時間：2023-04-14 08:01:53瀏覽次數：240次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網PAS5500/8TFH-AKrF步進掃描系統(tǒng)是一種專用的光刻工具，用于在125毫米、150毫米和200mmAlTiC晶片上生產薄膜頭(TFH)
PAS5500/8TFH-A KrF步進掃描系統(tǒng)是一種專用的光刻工具，用于在125毫米、150毫米和200mmAlTiC晶片上生產薄膜頭(TFH)。
TFH環(huán)境的PAS主體和特定校準改進，是為當前和未來的技術節(jié)點的TFH生產制定了新的標準。
TFH制造涉及打印小于100納米的隔離特征，這要求極低鏡頭像差水平。PAS 5500/8TFH-A使用經驗證的超低像差KrF鏡頭，該鏡頭來自PAS主體上的XT平臺，確保了優(yōu)異的性能和較低的擁有成本。AlTiC晶圓的低導熱性意味著軌道上的吞吐量受到限制，使PAS 5500/8TFH有更多的時間用于對準和晶圓穩(wěn)定。此外，PAS 5500/8TFH-A進一步改善了動態(tài)性能。
總之，這些將在AlTiC晶圓上實現(xiàn)業(yè)界的覆蓋和縫合性能。
通過作業(yè)定義，實現(xiàn)用戶定義的晶圓容納、X中的曲折布線和系統(tǒng)啟動，結合TFH特定的離線數據分析軟件，為小批量AlTiC晶圓提供穩(wěn)定的生產性能。
成熟的1.2 mm厚（125 mm、150 mm或200 mm直徑）和2.0 mm厚（125 mm和150 mm直徑）AlTiC晶片處理能力。
超低像差水平可實現(xiàn)90 nm以下的隔離線成像
UNICOM支持自動優(yōu)化每個照明設置的狹縫均勻性。同時，自動DOE交換器（ADE）最多可容納5個衍射光學元件（DOE）
改進的動力學和干涉儀控制可實現(xiàn)的性能。
使用多個遮罩啟用不同的照明模式和成像設置，并允許用戶定義的圖像序列順序。
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