CS4800 提供高質(zhì)量的 SEM 成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作，旨在提高現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力和運營效率，并提高客戶的過程控制能力。此外，CS4800 可以配置為處理兩種不同的晶圓尺寸，客戶可以將其切換到新的晶圓傳輸系統(tǒng)。日立分析儀器計劃擴大對碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 等各種晶圓材料的支持，以滿足客戶對新型半導體或電子設(shè)備的多樣化需求。

Hitachi二手電鏡CD-SEM CS4800

隨著 CS4800 的開發(fā)，日立分析儀器將為廣泛的 4、6 和 8 英寸晶圓廠提供可持續(xù)的 CD 測量解決方案，并將支持物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用、可穿戴設(shè)備和下一代的新興技術(shù)設(shè)備功率器件。

主要特點：

工具占用空間和 GUI *4旨在輕松更換現(xiàn)有工具。
提供經(jīng)過驗證的高精度測量和的計量應(yīng)用。
自動光軸對準將減少操作員錯誤。
具有*模式匹配的高吞吐量、自動化配方測量操作。
提供多種晶圓尺寸選項。

主要參數(shù)：

測量精度	1 nm (3σ)（使用日立標準晶圓）
晶圓尺寸	直徑 100、150 和 200 毫米
自動裝載機	2個端口
設(shè)備尺寸（主體）以毫米為單位	1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm

關(guān)鍵詞：過程控制標準

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商鋪：青島佳鼎分析儀器有限公司 http://m.liuyangwu.com/st123933/

主營產(chǎn)品：實驗室分析檢測儀器設(shè)備，以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向，從實驗室布局設(shè)計出圖、氣路管路施工與裝修、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、人員培訓以及運營維護，形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系0532-67760023

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