ASML ArF光刻機AT:1200作為其綜合成像設(shè)施的一部分，SUNY Poly 擁有一臺 TWINSCAN AT:1200 193 nm“干式"掃描儀；（0.85 NA）。該工具與 SUNY Poly 的所有工具集一樣，可用于對 300mm 晶圓進行成像，具有出色的晶圓均勻性，同時每小時可交付約 100 多個晶圓。盡管該工具是為滿足 90nm 節(jié)點的需求而制造的，但 SUNY Poly 團隊經(jīng)常展示使用該工具打印低于 90nm 特征的能力。

ASML二手翻新現(xiàn)貨ArF光刻機AT:1200

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