白光干涉測(cè)厚儀是一種新型的表面形貌測(cè)量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品表面形貌的三維測(cè)量。它通過掃描定位被測(cè)樣品表面各點(diǎn)的干涉位置得到表面各點(diǎn)相對(duì)高度，重構(gòu)表面三維輪廓，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面三維形貌的測(cè)量。
白光干涉測(cè)厚儀的優(yōu)勢(shì)：
測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好。
?、偈褂酶咝阅芎つ始す馄鳎Y(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻。
?、谝怨獠ㄩL(zhǎng)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)。
?、凼褂酶咚俟怆娦盘?hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度快。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度。
?、莘蛛x式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。
白光干涉測(cè)厚儀的設(shè)備亮點(diǎn)：
1、差值算法
同點(diǎn)測(cè)量應(yīng)用時(shí)，X射線測(cè)厚儀不能使用簡(jiǎn)單的面密度差值算法，X射線測(cè)厚儀的差值算法，精準(zhǔn)的將凈涂布量的面密度計(jì)算出來。
2、探頭
采用低能量的X射線，核心部件進(jìn)口，污染、環(huán)?；砻?、壽命長(zhǎng)。X光束的能量可以通過調(diào)節(jié)加速電壓來優(yōu)化測(cè)量范圍。
3、驅(qū)動(dòng)、通訊
采用高精度伺服電機(jī)，定位精度高，重復(fù)性好，速度閉環(huán)控制功能；
采用無延時(shí)實(shí)時(shí)網(wǎng)絡(luò)通訊，信號(hào)采樣周期10ms，幾臺(tái)測(cè)厚儀做同點(diǎn)測(cè)量時(shí)，確保幾臺(tái)測(cè)厚儀的掃面路徑一致
4、掃描架
O型掃描架，采用鋼板一體折彎而成，不易變形，全封閉式設(shè)計(jì)。
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