詳細摘要： DynamYX DATUM 具備市場上現(xiàn)有空氣軸承平移臺的性能。Datum 是 Newport 在材料、專有制造技術(shù)以及細致結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計方面不斷進行投資而獲得...
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上海頻標(biāo)科技有限公司
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詳細摘要： DynamYX DATUM 具備市場上現(xiàn)有空氣軸承平移臺的性能。Datum 是 Newport 在材料、專有制造技術(shù)以及細致結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計方面不斷進行投資而獲得...
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詳細摘要： SW系列晶圓對準/鍵合/解鍵合設(shè)備可應(yīng)用于多個領(lǐng)域，包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、封裝（3D-TSV、WLP）和化合物半導(dǎo)體（LED、RF器件）等。 其中...
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詳細摘要： 平臺特性 集成式5 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達微米級 機械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用 X/Y 軸 無線纜擾動力設(shè)計 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌，提供的雙向...
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詳細摘要： 該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ...
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詳細摘要： 平臺特性 集成式3 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達微米級 X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動力設(shè)計 Z 軸 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精...
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詳細摘要： 該系列產(chǎn)品包含：雙Z 軸多軸微動臺（Z3T-Dz Stage）、單Z 軸多軸微動臺（Z3T-Sz Stage）
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詳細摘要： 該系列產(chǎn)品包含扁平ZT 臺（MZT-10 Stage）、大行程ZT 臺（MZT-25 Stage）、高性能ZT 臺（MZT-24-CRG Stage）
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詳細摘要： 該系列產(chǎn)品包含：平面集成式XY 臺（Planar-Series XY Stage）、平面中空式XY 臺（Planar-Series XY Stage）
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詳細摘要： 平臺特性 兩軸360°無限制旋轉(zhuǎn)萬向節(jié)系統(tǒng) 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機驅(qū)動 高剛度、高精度交叉滾子軸承設(shè)計 內(nèi)置長壽命的導(dǎo)電滑環(huán) 平臺概要二維精密轉(zhuǎn)臺采用了大尺...
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詳細摘要： 平臺特性 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸直線電機驅(qū)動 高精度的線性光學(xué)編碼器反饋 高剛度、高精度的循環(huán)滾柱導(dǎo)軌設(shè)計 極為優(yōu)異的定位精度和重復(fù)性表現(xiàn) 平臺概要交叉十字XY 臺...
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詳細摘要： 該系列產(chǎn)品包含氣浮重力補償垂向臺（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力補償垂向臺（MZ-10 Stage）、重載垂向臺（MTZ-25 Stage）
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詳細摘要： 概要： 單軸直線運動臺采用了緊湊扁平的設(shè)計思想。能實現(xiàn)水平向高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于激光切割、半導(dǎo)體、平板顯示、自動化等領(lǐng)域。
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詳細摘要： 包含機械轉(zhuǎn)臺（MRDS-180 Stage）、氣浮轉(zhuǎn)臺（ARDS-180 Stage）
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詳細摘要： 包含音圈電機模組（VCM Module）、盤式電機模組（AFM Module）、動鐵直線電機模組（MIL Module）
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詳細摘要： 整機特點 采用動線圈直線電機，成本較低，隨著距離的增加，成本優(yōu)勢更加明顯; 多種通信方式，便于與產(chǎn)線主控中心融合； 集成動子防碰撞功能，動子自主起停，安全便捷；...
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詳細摘要： 雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉...
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詳細摘要： 多軸精密氣浮運動臺用于精密測量，它是集制造、自動控制、電子、光學(xué)、圖形圖像及計算機技術(shù)為一體的綜合性交叉學(xué)科，于精密加工緊密聯(lián)系在一起。二次元影像測量儀適用于工...
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詳細摘要： The IDL-V series was developed for industrial applications that require a high l...
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詳細摘要： ONE-XY 在薄型設(shè)計中地集成了 X 軸和 Y 軸，具有出色的定位精度、平坦度、平直度、剛度、MIM 和可重復(fù)性。 集成 XY 平臺，內(nèi)部采用正交設(shè)計 平面度...
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