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公司介紹主營產(chǎn)品

上海頻標(biāo)科技有限公司是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務(wù)及方案咨詢和品牌代理等于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實(shí)驗(yàn)室各類測量測試設(shè)備及分析儀器、生命科學(xué)試劑及耗材、光譜學(xué)測量、半導(dǎo)體微電子運(yùn)動控制及振動控制等多個領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學(xué)事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

上海頻標(biāo)科技有限公司由來自于東京大學(xué)、中科院研究所、吉林大學(xué)及復(fù)旦大學(xué)等多位業(yè)內(nèi)儀器儀表及解決方案領(lǐng)域的教授、博士、碩士等專業(yè)團(tuán)隊(duì)構(gòu)成，公司致力于打造實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案和服務(wù)提供商。我們崇尚專注、專業(yè)、專長，以努力為各類客戶提供專家型一站式服務(wù)為宗旨。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

該系列產(chǎn)品包含：雙Z 軸多軸微動臺（Z3T-Dz Stage）、單Z 軸多軸微動臺（Z3T-Sz Stage）

多軸微動臺（MZ3T Stage）產(chǎn)品詳情

類別

描述

雙Z 軸多軸微動臺（Z3T-Dz Stage）

平臺特性

高精度364°旋轉(zhuǎn)運(yùn)動
±0.2°以上的tip 和tilt 精密調(diào)整
雙Z 軸設(shè)計(jì)：晶圓交接用的Coarse Z 軸以及精密調(diào)焦用的Fine Z 軸
內(nèi)置技術(shù)：磁浮重力補(bǔ)償
極小軸向和徑向跳動，僅±1.25 μm

平臺概要
雙Z 軸多軸微動臺擁有4 個自由度，提供364°的旋轉(zhuǎn)角，雙Z 軸，其中一個用于圓晶裝件與卸件的粗大調(diào)整，一個用于調(diào)焦的精密調(diào)整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。該Z3T-Dz 模塊為運(yùn)動提供更優(yōu)的跟隨誤差控制性能，其重復(fù)精度、運(yùn)動和穩(wěn)定時間性能均支持更大行程運(yùn)動。Z3T-Dz 模塊主要用于前道應(yīng)用，優(yōu)先于光刻后段和圓晶生產(chǎn)控制。

單Z 軸多軸微動臺（Z3T-Sz Stage）

平臺特性

高精度無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動
±0.2°以上的tip 和tilt 精密調(diào)整
內(nèi)置技術(shù)：磁浮重力補(bǔ)償
極小軸向和徑向跳動，僅±1.25 μm

平臺概要
單Z 軸多軸微動臺擁有四個各自獨(dú)立的自由度，包括一個旋轉(zhuǎn)軸、一個垂直軸和兩個搖擺和傾斜修正軸。該Z3T-Sz 模塊結(jié)構(gòu)極為緊湊，且具備優(yōu)異的定位精度和動態(tài)特性，滿足半導(dǎo)體晶圓制造和檢測過程中對晶圓載臺運(yùn)動性能的特殊需求。Z3T-Sz 的出現(xiàn)不僅為用戶提高運(yùn)動系統(tǒng)精度，簡化設(shè)計(jì)難度，還能顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價比。

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產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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全自動呼吸器綜合檢測儀性能穩(wěn)定	￥910000	上海市	上海程斯智能科技有限公司	2026-09-24	在線詢價
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全自動流出杯式粘度測定儀	￥850000	上海市	上海誠衛(wèi)儀器科技有限公司	2026-09-24	在線詢價
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