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三維表面測(cè)量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí))

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更新時(shí)間：2026-05-26 07:19:37瀏覽次數(shù)：166次

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹三維表面測(cè)量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí))是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款檢測(cè)設(shè)備,;三維表面測(cè)量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí))測(cè)量精度重復(fù)性達(dá)到世界較高水平;關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等;配備進(jìn)口第三方校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件高性價(jià)比微觀形貌測(cè)量設(shè)備;迅捷、高效的......

詳細(xì)介紹

三維表面形貌儀采用了上等光學(xué)系統(tǒng),可通過非破壞觀察法生產(chǎn)高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行**的3D測(cè)量,可以滿足不同樣品的觀測(cè)需求

NanoFocus2000三維表面測(cè)量儀光學(xué)輪廓儀/三維表面形貌儀/三維表面輪廓儀(納米級(jí))是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款檢測(cè)設(shè)備

采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級(jí)三維精密測(cè)量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、航空航天、太陽能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域。

三維表面測(cè)量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 產(chǎn)品特點(diǎn)：

測(cè)量精度重復(fù)性達(dá)到世界較高水平

關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等

配備進(jìn)口第三方校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件

高性價(jià)比微觀形貌測(cè)量設(shè)備

迅捷、高效的上等售后服務(wù)

覆蓋范圍廣

兼容多種測(cè)量和觀察需求

保護(hù)性

非接觸式光學(xué)干涉測(cè)量

可操作性

“一鍵式"操作更簡單、高效

智能化

特殊形狀智能計(jì)算特征參數(shù)

個(gè)性化

定制化測(cè)試報(bào)告

NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測(cè)儀主要由精密載物臺(tái)、照明系統(tǒng)、光學(xué)干涉成像系統(tǒng)、實(shí)現(xiàn)移相運(yùn)動(dòng)的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個(gè)檢測(cè)儀放置在氣浮抗振平臺(tái)上。載物臺(tái)用于安放被測(cè)件，同時(shí)通過傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測(cè)面**定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測(cè)面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測(cè)表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實(shí)現(xiàn)微位移控制；通過CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測(cè)面的相位信息進(jìn)而得到表面輪廓。