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生長系統(tǒng): ALD原子層沉積系統(tǒng) MOCVD設(shè)備

刻蝕系統(tǒng): RIE-PE刻蝕機(jī) RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

清洗去膠系統(tǒng): 研發(fā)用等離子去膠機(jī) 離子束清洗系統(tǒng) 大基片清洗/去膠/濕法刻蝕單晶圓/掩模版兆聲清洗機(jī) 等離子去膠清洗及灰化系統(tǒng)

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