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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司


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電子束光刻膠 AR-PC 5090.02, 5091.02（導(dǎo)電膠）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2022-08-02 10:30:33瀏覽次數(shù)：340次

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所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：林經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

特點(diǎn)：? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應(yīng)? 通過旋涂的方式涂膠，操作簡(jiǎn)單? 涂膠厚度：40nm @ 4000rpm? 電子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不損傷襯底材料? 對(duì)紫外光、電子束不敏感，無需黃光室 5090.02，適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：


? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應(yīng)

? 通過旋涂的方式涂膠，操作簡(jiǎn)單

? 涂膠厚度：40nm @ 4000rpm

? 電子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不損傷襯底材料

? 對(duì)紫外光、電子束不敏感，無需黃光室

 5090.02，適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等；

 5091.02，適于酚醛樹脂基電子束光刻膠，如AR-N 7520



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