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詳細(xì)摘要： 一、設(shè)備簡(jiǎn)介1、應(yīng)用范圍自動(dòng)晶圓幾何形貌及參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌...
產(chǎn)品型號(hào)：所在地：上海更新時(shí)間：2026-07-20 在線留言
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詳細(xì)摘要： PLS-F1000/F1002是一款專門(mén)測(cè)量晶圓厚度、TTV,Bow,Warp,TIR,Sori,Sag,LTV等參數(shù)的自動(dòng)晶圓形貌檢測(cè)及分選機(jī)
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