詳細(xì)摘要： 矽碁還專為客戶定制過性價(jià)比的PECVD與RIE聯(lián)合系統(tǒng)，該聯(lián)合系統(tǒng)采用統(tǒng)一的真空氣路及電控系統(tǒng)，在實(shí)現(xiàn)多功能的前提下有效節(jié)省成本
產(chǎn)品型號(hào)：所在地：深圳市更新時(shí)間：2023-01-14 在線留言深圳海創(chuàng)德科技有限公司
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詳細(xì)摘要： 反應(yīng)離子刻蝕(ReactiveIonEtching,RIE)是指在平板電極間施加射頻電壓，通過產(chǎn)生的等離子體對(duì)樣品進(jìn)行化學(xué)和物理刻蝕
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