產(chǎn)品名稱:NEXIVVMR系列標(biāo)配硬件產(chǎn)品類別:日本尼康精密光學(xué)測(cè)量產(chǎn)品說(shuō)明:一、1、2、3型機(jī)的標(biāo)配硬件專為NEXIVVMR設(shè)計(jì)的、高品質(zhì)專用物鏡該物鏡數(shù)值孔徑高達(dá)0.35，工作距離長(zhǎng)達(dá)50毫米，經(jīng)過(guò)專門(mén)的消畸變?cè)O(shè)計(jì)，可以充分保證工件視窗的窗內(nèi)測(cè)量精度，特別適合于視頻圖象的精密坐標(biāo)測(cè)量

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品名稱:	NEXIV VMR系列標(biāo)配硬件
產(chǎn)品類別:	日本尼康精密光學(xué)測(cè)量
產(chǎn)品說(shuō)明:	一、1、2、3型機(jī)的標(biāo)配硬件專為NEXIV VMR設(shè)計(jì)的、高品質(zhì)專用物鏡該物鏡數(shù)值孔徑高達(dá) 0.35，工作距離長(zhǎng)達(dá) 50 毫米，經(jīng)過(guò)專門(mén)的消畸變?cè)O(shè)計(jì)，可以充分保證工件視窗的窗內(nèi)測(cè)量精度，特別適合于視頻圖象的精密坐標(biāo)測(cè)量。具有15 倍變焦比的光學(xué)頭 3 個(gè)型號(hào)（1、2、3 型）各自有 5 級(jí)放大倍率。15倍變焦比的5段自動(dòng)變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進(jìn)行自由切換，以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨蟆?br style="box-sizing: border-box;"> 放大倍率與視場(chǎng)（毫米）上述總放大倍率為17 英寸液晶顯示器，設(shè)置為 SXGA（1280×1024）模式時(shí)，顯示器屏幕上的放大倍率。已升級(jí)的TTL 激光自動(dòng)對(duì)焦裝置該裝置具有對(duì)焦速度快、工作距離長(zhǎng)、測(cè)量精度高的特點(diǎn)，它可以在低倍條件下實(shí)現(xiàn)對(duì)具有高度差的狹窄區(qū)域的自動(dòng)對(duì)焦。它還可以進(jìn)行每秒1000 點(diǎn)的高速掃描，實(shí)現(xiàn)多種高精度 Z 軸掃描測(cè)量。 TTL激光自動(dòng)對(duì)焦裝置的構(gòu)成用激光掃描得到的錫球表面（三維鳥(niǎo)瞰顯示）高速高精度影象自動(dòng)對(duì)焦由于采用了新的圖象數(shù)據(jù)處理時(shí)序以及逐行掃描CCD，使影象自動(dòng)對(duì)焦具有更高的速度和準(zhǔn)確度。影象自動(dòng)對(duì)焦適用于不能使用 TTL 激光自動(dòng)對(duì)焦的場(chǎng)合，例如對(duì)傾斜度較大的斜面以及回轉(zhuǎn)體外側(cè)邊界的對(duì)焦。利用多重影象自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠同時(shí)測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)多個(gè)不同高度的點(diǎn)。多種照明方式 VMR 系列有多種照明方式可供選擇，能夠?yàn)楣ぜ峁├硐氲恼彰?，這包括：八方向獨(dú)立可控LED環(huán)形斜照明，分內(nèi)外兩層照明環(huán)，其中：內(nèi)環(huán)照明（與光軸的夾角為 37度）；外環(huán)照明（與光軸的夾角為 75度）。反射照明（頂部光）；透射照明（底部光）。 8方向LED環(huán)形照明的照明手段，使您能夠看清通常不易看清的邊界，從而可以準(zhǔn)確地檢出邊界。此外，VMR系列的照明條件可以程序控制、記憶，編輯也很方便，可以做多語(yǔ)句同時(shí)。二、高倍機(jī)的標(biāo)配硬件新開(kāi)發(fā)的高倍頭 VMR-Z120X 這種新的鏡頭組，通過(guò)使用可以相互切換兩個(gè)物鏡與變焦頭的有機(jī)組合，實(shí)現(xiàn)從 1倍到 120 倍的光學(xué)放大倍率。該系統(tǒng)在高倍下具有非常高的工件視窗窗內(nèi)測(cè)量重復(fù)精度，8 級(jí)放大倍率總能使您能找到一個(gè)合適的倍率，并且可以實(shí)現(xiàn)從低倍大視場(chǎng)搜索，直到最小測(cè)量線寬約為1 微米的高倍觀察與精密測(cè)量。放大倍率與視場(chǎng)（毫米）上述總放大倍率為 17 英寸液晶顯示器，設(shè)置為 SXGA（1280×1024）模式時(shí)，顯示器屏幕上的放大倍率。低放大倍率 1X 2X 4X 7.5X 高放大倍率 16X 32X 64X 120X(線寬6微米) 細(xì)光束、高分辨率 TTL 激光自動(dòng)對(duì)焦裝置該裝置配備有高數(shù)值孔徑的物鏡，具有激光光束細(xì)、光斑直徑小的特點(diǎn)，能夠進(jìn)行超小激光光點(diǎn)測(cè)量。能夠顯著提高在纖薄的透明或半透明材料（如光阻材料）表面，或不規(guī)則反射面上對(duì)焦及掃描的性能?？梢砸詾槊棵?000 點(diǎn)的速度進(jìn)行高速掃描測(cè)量，從而在多種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)超高精度 Z 軸測(cè)量。 TTL激光自動(dòng)對(duì)焦裝置的構(gòu)成 64X 120X(線寬6微米) 三種照明類型通過(guò)三種 CNC 可控照明____高倍垂直反射與透射、暗場(chǎng)照明，可以向各種工件提供的照明，從而確保各種待測(cè)邊界可被準(zhǔn)確、可靠地探測(cè)。三、LU型機(jī)的標(biāo)配硬件 CFI60 光學(xué)系統(tǒng)使用代表了尼康光學(xué)技術(shù)的的CFI60 光學(xué)系統(tǒng)，能攝取明亮的、高對(duì)比度的圖象，使系統(tǒng)更加適合于大型液晶顯示板及其彩色濾色片的測(cè)量。該系統(tǒng)既能通過(guò)圖象處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)工件的尺寸測(cè)量，又能用于觀察目的。此外，它還可以通過(guò)使用高對(duì)比度DIC，增強(qiáng)DIC 成象能力。 LU型光學(xué)頭 LU型用CFI60系列物鏡群通用電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器通過(guò)對(duì)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的操控，CNC 測(cè)量程序可以改變放大倍率，并為顯微觀察選擇放大倍率以及的物鏡。從測(cè)量到數(shù)據(jù)處理的自動(dòng)控制易于使用的軟件可控制系統(tǒng)所有的功能，從各種照明的控制，到圖象處理以及載物臺(tái)的移動(dòng)，測(cè)量過(guò)程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確一致。使用 LU 型時(shí)，以下操作需要手動(dòng)進(jìn)行：明場(chǎng)與暗場(chǎng)照明的切換；視場(chǎng)光闌及孔徑光闌的設(shè)置；起偏器、檢偏器與Nomarski 棱鏡的設(shè)置。但此項(xiàng)是有電動(dòng)型選配件的。電動(dòng)旋轉(zhuǎn)起偏器／檢偏器（選配）可選配的電動(dòng)旋轉(zhuǎn)起偏器／檢偏器使操作人員能夠根據(jù)工件情況優(yōu)化圖象對(duì)比度。這樣在進(jìn)行 DIC 成象時(shí)，可以看到更加明顯的微分干涉效果。各種 CFI60 物鏡 CFI60 光學(xué)系統(tǒng)限度地抑制了雜光，并具有數(shù)值孔徑（N.A.）高和工作距離（W.D.）長(zhǎng)的特點(diǎn)，所以能夠攝取明亮的、高對(duì)比度的圖象。VMR 系列可使用包括 CFI LU 平場(chǎng) BD在內(nèi)的各種 CFI60 通用物鏡鏡頭。使用EPI系列物鏡時(shí), 需使用LU物鏡轉(zhuǎn)接環(huán)。 LCD觀測(cè)用CFI物鏡工作距離與玻片厚度較正環(huán)的定位有關(guān)。放大倍率及視場(chǎng)大小 *出廠選件為0.5x鏡筒透鏡或1.0x鏡筒透鏡 LCD 物鏡鏡頭的作用請(qǐng)比較使用平場(chǎng)EPI物鏡和LCD物鏡，隔著玻璃時(shí)的觀察效果。使用LCD觀測(cè)用CFI物鏡，即便是隔著玻璃，圖象依然清晰可見(jiàn)。使用平場(chǎng)EPI物鏡鏡頭使用LCD物鏡鏡頭 Nomarski DIC 圖象 CFI LU平場(chǎng)BD 20x 物鏡采用 DIC 顯微術(shù)，微小的高度差可以呈現(xiàn)為明亮的高對(duì)比度圖象，所以能夠觀察 ACF（各向異性導(dǎo)電膜）焊接過(guò)程中的顆粒分布情況。暗場(chǎng)圖象 CFI LU平場(chǎng)BD 50x 物鏡