上海楚岱精密儀器有限公司
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更新時(shí)間：2024-01-11 10:46:24瀏覽次數(shù)：563次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品中心ZYGOzegage/9000ZYGO公司研發(fā)的3D光學(xué)表面輪廓儀是基于干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)用于位移、表面形態(tài)和光波的測(cè)量，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、通訊、航天、自動(dòng)化及科研領(lǐng)域
ZYGO公司研發(fā)的3D 光學(xué)表面輪廓儀是基于干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)用于位移、表面形態(tài)和光波的測(cè)量，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、通訊、航天、自動(dòng)化及科研領(lǐng)域。可以提供*的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。所有的測(cè)量都無(wú)損、快速，并且不需要樣品制備。*的分析軟件可以極其的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。對(duì)于各種表面結(jié)構(gòu)，放大倍率及零件高度，可以實(shí)現(xiàn)小于1 納米到20000 微米范圍的快速測(cè)量。使用ZYGO的相干掃描干涉技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀可以很容易的測(cè)量各種材質(zhì)表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。在通用性和應(yīng)用價(jià)值方面使其成為3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。
技術(shù)特點(diǎn)：
高靈敏度傳感器、快速非接觸測(cè)量、的3D表面可視化、亞埃級(jí)精度、超精密計(jì)算能力、增強(qiáng)光學(xué)成像、自動(dòng)零件定位。
技術(shù)參數(shù)：
(1) 縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)
(2) 表面形貌重復(fù)性：＜3.5nm（根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）
(3) 光學(xué)分辨率 ：0.52um ～9.50um，（與所選物鏡有關(guān)）
(4) 掃描速度：≤ 23 um/秒
(5) 數(shù)據(jù)點(diǎn) ：1,048,576
(6) 臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度 ≤ 3% 重復(fù)性≤ 0.3% @ 1σ
(7) 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射
(8) 反射率 ：1-99%
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