北京歐唐科技發(fā)展有限公司
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所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2025-02-12 10:17:38瀏覽次數(shù)：184次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 儀表網(wǎng)AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動(dòng)態(tài)干涉儀，采用短相干光源，相干長度約200微米；這使它既保持了菲索型的通常特點(diǎn)，又保持了動(dòng)態(tài)干涉儀的特性，抗振動(dòng)，對(duì)氣流擾動(dòng)不敏感，并可用于一些特殊的測(cè)量需求，特別適合平行平板測(cè)量、材料均勻性測(cè)量、大口徑凸球面的直接測(cè)量等。
1. 遠(yuǎn)程空腔測(cè)量。 只要保證透射參考面（TF或TS）距樣品個(gè)反射面的光程小于2m, 即可進(jìn)行測(cè)量；而無需擔(dān)心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動(dòng)與氣流問題。最典型的應(yīng)用，是大口徑凸球面或凸非球面的測(cè)量，例如JSWT次鏡的測(cè)量。
2. 平行平板的測(cè)量，可以直接測(cè)量厚度大于200µm的平行平板，不產(chǎn)生干擾條紋
3.均勻性的測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)定位干涉，只需保證樣品平行度足夠好，就可以直接測(cè)量，對(duì)樣品面形精度沒有特殊要求。
4.平面元件應(yīng)力雙折射的測(cè)量
5.平面元件的等厚差的測(cè)量
6.作為主機(jī)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)大口徑干涉儀自研
采集模式：采用相位相關(guān)探測(cè)器瞬時(shí)相移式
出光口徑：100mm，150mm，或其它定制尺寸
工作波段：636nm，相干長度200µm
相機(jī)像素：2K x 2K pexels，12bit
腔長：0-500 mm或0-2 m
外形尺寸：干涉儀：51.4 x 23.8 x 20.3 cm
光源：28.2 x 68.2 x 17.0 cm
干涉儀重量：13.6kg
樣品反射率：1-99%（需衰減）
RMS重復(fù)性：0.0001waves (0.06nm)*
RMS精度：0.001waves（0.6nm）**
*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均
**采用10個(gè)數(shù)據(jù)，每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均；以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果
- 可選150mm 輸出口徑
- 可選4"TF 與RF平面標(biāo)準(zhǔn)鏡
- 可選4"TS (1/20 wv PVr) ： F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1
- 可選6"TS （1/20 wv PVr）： F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4
- 可選4"或6"樣品5維調(diào)整架
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