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小型分析探針臺(tái)

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麗景電子科技（廣州）有限公司

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小型分析探針臺(tái)
產(chǎn)品介紹

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4" 6" 型探針臺(tái)
特點(diǎn)	類(lèi)型	規(guī)格
* 適用于6英寸以?xún)?nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測(cè)試同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK 可以升級(jí)做射頻測(cè)試 20X~2000X 光學(xué)顯微放大無(wú)后座力移動(dòng) *可以選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動(dòng)升降裝置	顯微鏡控制	在探針臺(tái)本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測(cè)試過(guò)程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會(huì)有碰傷樣品和鏡頭的問(wèn)題
		顯微鏡X-Y軸行程：2" x2"
		顯微鏡放大倍率：20X~2000X （倍率可選）
	chuck（卡盤(pán)）	尺寸：6英寸，圓形（方形可選）
		材質(zhì)：不銹鋼（可升級(jí)鍍金）
		旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°
		X-Y移動(dòng)行程：6" x6"，移動(dòng)精度：5um（可升級(jí)為1um精度）
		Z軸升降行程：5mm，卡盤(pán)快速升降，方便更換樣品，不會(huì)碰觸到其他已調(diào)試好器件
		吸附孔：中心孔徑最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"
	整體規(guī)格	尺寸：850mm長(zhǎng) x 680mm寬 x 720mm高 (帶顯微鏡)
		重量： 100 Kg(帶顯微鏡)
		U型大平臺(tái)，可放置8個(gè)探針座
		平整度：5um，使針座吸附更牢固（可定制針座固定在平面上）
附件可選：激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺(tái)、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè)

關(guān)鍵詞：顯微鏡

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