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1.天津三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平衡部件，首要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)。其功用是平衡Z軸的重量，使Z軸上下移動(dòng)而不受偏置干擾，從而使Z方向的測(cè)力在檢測(cè)過程中保持穩(wěn)定。假如更換了安裝在Z軸上的探針，應(yīng)從頭調(diào)整平衡力的巨細(xì)，以完成新的平衡。Z軸平衡設(shè)備有重量、彈簧或彈簧、氣缸活塞桿等類型。

2.驅(qū)動(dòng)設(shè)備是天津三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的重要運(yùn)動(dòng)組織，可完成電動(dòng)和程控伺服運(yùn)動(dòng)功用。天津主動(dòng)測(cè)量?jī)x上常用的驅(qū)動(dòng)設(shè)備包含螺帽、滾輪、鋼絲、齒帶、齒輪齒條、光軸滾輪等，由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器正在上升。
3.轉(zhuǎn)臺(tái)及附件轉(zhuǎn)臺(tái)是主動(dòng)測(cè)量?jī)x的重要組成部分，它為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)增加了旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的自由度，便于測(cè)量某些類型的零件。轉(zhuǎn)臺(tái)包含分度臺(tái)、單軸轉(zhuǎn)臺(tái)、通用轉(zhuǎn)臺(tái)（雙軸或三軸）和CNC轉(zhuǎn)臺(tái)。根據(jù)需要，主動(dòng)測(cè)量?jī)x有許多附件。一般指參考尺、方尺、步距規(guī)、規(guī)范球體（或立方體）、千分尺、自檢精度檢測(cè)模板等。

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