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半導(dǎo)體制程監(jiān)控: 實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀小型工藝氣體分析儀

膜厚檢測(cè)儀

藥液濃度監(jiān)測(cè)儀: 藥液濃度計(jì)

氣體流量控制器: 壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-N100 系列

壓力控制器: 質(zhì)量流量控制器附件自動(dòng)增壓器UR-7300 系列

純水監(jiān)測(cè): 雙通道電阻率計(jì) HE-960RW-GC 超純水管理用高靈敏度硅表 SLIA-300 碳質(zhì)探頭電阻率計(jì) HE-960R-GC

顆粒物監(jiān)測(cè)系統(tǒng): 光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測(cè)系統(tǒng)PR-PD3 光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2 光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2HR

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