詳細(xì)摘要: eVictor PVD Al金屬鋁薄膜物理氣相沉積系統(tǒng),適用于12英寸集成電路領(lǐng)域,是一款PVD設(shè)備。該系統(tǒng)集成高溫去氣、等離子體預(yù)清洗、高溫Al、TaN、TT...
產(chǎn)品型號:所在地:北京市更新時間:2026-09-20 在線留言
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詳細(xì)摘要: eVictor PVD Al金屬鋁薄膜物理氣相沉積系統(tǒng),適用于12英寸集成電路領(lǐng)域,是一款PVD設(shè)備。該系統(tǒng)集成高溫去氣、等離子體預(yù)清洗、高溫Al、TaN、TT...
產(chǎn)品型號:所在地:北京市更新時間:2026-09-20 在線留言詳細(xì)摘要: Polaris Series硅通孔物理氣相沉積系統(tǒng)主要由大氣平臺,真空傳輸平臺,去氣腔室,預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成,設(shè)備采用Cluster Tool結(jié)構(gòu),可配置...
產(chǎn)品型號:所在地:北京市更新時間:2026-09-20 在線留言詳細(xì)摘要: eVictor Series 8英寸物理氣相沉積系統(tǒng)主要用于8英寸晶圓金屬薄膜沉積工藝。該機(jī)臺為多腔室前后雙平臺結(jié)構(gòu),可支持10個工藝模塊,能夠進(jìn)行全自動工藝處...
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