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更新時間:2026-09-20 10:36:47瀏覽次數(shù):145次
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?納米至毫米全域測量|三合一光學(xué)輪廓儀
托托科技推出神影 MV-1000、MV-7000 系列三合一光學(xué)輪廓儀,融合白光干涉、景深融合、共聚焦三大測量模式,集成超景深與明場觀測功能,一臺設(shè)備即可完成各類精密表面輪廓檢測,解決多儀器切換帶來的低效與誤差問題,適配實驗室研發(fā)與工業(yè)產(chǎn)線質(zhì)檢場景。
托托科技推出神影 MV-1000、MV-7000 系列納米至毫米全域測量|三合一光學(xué)輪廓儀,融合白光干涉、景深融合、共聚焦三大測量模式,集成超景深與明場觀測功能,一臺設(shè)備即可完成各類精密表面輪廓檢測,解決多儀器切換帶來的低效與誤差問題,適配實驗室研發(fā)與工業(yè)產(chǎn)線質(zhì)檢場景。
該設(shè)備可實現(xiàn)納米至毫米級全尺度形貌測量,能檢測線粗糙度、臺階高度、面型曲率、體積、面積等二維、三維參數(shù)。納米尺度可識別深度劃痕、超精密表面微粗糙度;微米級精準(zhǔn)測量微納結(jié)構(gòu)高度與周期;毫米級支持大樣品拼接、斷口形貌觀測,光滑平面、高斜率溝槽、大尺寸工件均可適配,按需切換測量模式。
設(shè)備搭載自主 AI 算法,具備自動找焦、智能調(diào)平功能,樣品放置后一鍵啟動,自動修正傾斜、消除虛焦問題,多圖融合成像僅需 1 秒,大幅降低人工調(diào)試成本。整機采用一體化抗干擾結(jié)構(gòu),數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強;配套集成式獨立測頭,布線簡單,同時提供 SDK 開發(fā)包,支持產(chǎn)線自動化集成。設(shè)備支持 200 億像素三維圖像拼接,搭配區(qū)域?qū)Ш焦δ?,兼顧宏觀全貌與微觀細(xì)節(jié),無需在視野與精度間取舍。

配套分析軟件,可精準(zhǔn)測算粗糙度、深度、角度、體積等各類幾何參數(shù),適用于晶圓尺寸測量、光學(xué)元件劃痕檢測、微槽體積計算等場景,測量數(shù)據(jù)可一鍵生成標(biāo)準(zhǔn)化檢測報告,方便數(shù)據(jù)存檔與工藝追溯。儀器支持自定義自動化工作流,從參數(shù)設(shè)置、圖像采集、數(shù)據(jù)測算到報告生成全自動運行,可拓展 OK/NG 自動判定、人工復(fù)核功能,大批量樣品檢測效率顯著提升。
光學(xué)輪廓儀應(yīng)用場景覆蓋多精密制造行業(yè):光學(xué)領(lǐng)域用于微透鏡、相位片、精密鏡片的表面缺陷與粗糙度檢測;半導(dǎo)體行業(yè)監(jiān)控晶圓、MEMS、封裝芯片微結(jié)構(gòu)尺寸;同時適配 3C 電子、新能源、精密機械、生物醫(yī)療與科研領(lǐng)域,可檢測金屬劃痕、陶瓷斷口、微流控三維結(jié)構(gòu),為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)量管控提供精準(zhǔn)三維輪廓數(shù)據(jù)。


納米至毫米全域測量|三合一光學(xué)輪廓儀集多模式測量、AI 智能自動化、大視野拼接、產(chǎn)線集成能力于一體,測量量程廣、精度高、操作便捷,一站式滿足從納米微觀到大尺寸宏觀樣品的輪廓檢測需求,為各行業(yè)微納精密檢測提供穩(wěn)定可靠的一體化解決方案。
托托科技神影 MV?1000、MV?7000 三合一光學(xué)輪廓儀,集成三類測量模式與觀測功能,可完成納米?毫米全域形貌檢測。搭載 AI 智能調(diào)試、高速成像、超大像素拼接,配套分析軟件可自動出檢測報告,便于產(chǎn)線對接,適配多行業(yè)精密工件三維輪廓質(zhì)檢與研發(fā)測試。
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主營產(chǎn)品:無掩模光刻機,超高精度3D光刻機,多模態(tài)光電顯微鏡,磁光克爾顯微系統(tǒng),3D顯微鏡
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