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更新時間:2026-09-29 15:21:06瀏覽次數(shù):47次
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?神影 MV?1000 / MV?7000 系列光學(xué)輪廓儀是托托科技推出的一體化 3D 形貌測量設(shè)備,有白光干涉、景深融合、共聚焦三種測量模式,可完成從納米級到毫米級跨度的樣品表面形貌檢測,兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與產(chǎn)線質(zhì)量檢測場景。
神影 MV?1000 / MV?7000 系列光學(xué)輪廓儀是托托科技推出的一體化 3D 形貌測量設(shè)備,有白光干涉、景深融合、共聚焦三種測量模式,可完成從納米級到毫米級跨度的樣品表面形貌檢測,兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與產(chǎn)線質(zhì)量檢測場景。
產(chǎn)品核心特點(diǎn)
智能測量,操作簡化 設(shè)備搭載自動找焦、電動智能調(diào)平(俯仰調(diào)節(jié) ±3°),依靠自研 AI 算法,放置樣品后即可自動完成對焦與調(diào)平;多圖融合可實(shí)現(xiàn) 1 秒出圖,降低人工操作門檻,保障測量數(shù)據(jù)可靠性,減少環(huán)境帶來的測量干擾。
獨(dú)立集成測頭,支持二次開發(fā) 測量探頭高度集成光學(xué)、電控、數(shù)據(jù)處理模塊,僅保留電源與數(shù)據(jù)接口,便于系統(tǒng)集成部署;配套提供 SDK 軟件開發(fā)包,支持對接自動化產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)自動化測量調(diào)用。
大視場圖像拼接 支持 200 億像素圖像融合拼接,兼顧大視場全貌與微觀細(xì)節(jié),具備區(qū)域?qū)Ш焦δ?;支持三維拼接,可對大尺寸樣品完整成像,不用在視野與分辨率之間取舍。
自定義自動化工作流 可配置自動化測量流程:參數(shù)設(shè)定?圖像采集?數(shù)據(jù)測量?報告生成,可擴(kuò)展導(dǎo)航拍攝、OK/NG 自動判定、手動復(fù)核、多模式復(fù)查等功能;劃痕檢出深度可達(dá) 0.5?nm,適合大批量樣品篩查檢測。

測量能力與軟件功能
設(shè)備可輸出二維、三維多項(xiàng)參數(shù),包含線粗糙度、面粗糙度、臺階高度、面型輪廓、曲率、深度、角度、面積、體積等;測量數(shù)據(jù)可套用自定義模板直接輸出檢測報告,方便數(shù)據(jù)存檔追溯。 測量跨度覆蓋:
納米級:超精密表面微粗糙度、亞納米劃痕;
微米級:微納結(jié)構(gòu)高度、刻蝕深度、面積體積周長;
毫米級:周期結(jié)構(gòu)重復(fù)測量、大面型拼接、斷口形貌檢測。
神影 MV?1000 / MV?7000 系列光學(xué)輪廓儀主要應(yīng)用領(lǐng)域
超精密光學(xué)元件:微透鏡陣列、光波導(dǎo)、精密鏡片,檢測表面缺陷、粗糙度、幾何尺寸;
半導(dǎo)體行業(yè):晶圓粗糙度、IC 晶圓、MEMS 器件、封裝芯片、錫球陣列、蝕刻電極工藝監(jiān)控;
3C 電子、超精密與機(jī)械加工:金屬劃痕、陶瓷斷口、各類精密零部件形貌質(zhì)量評價;
生物醫(yī)療與科研:微流控芯片、各類微納科研樣件的形貌、尺寸表征分析。

您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
商 鋪:托托科技(蘇州)有限公司 http://m.liuyangwu.com/st176963/
主營產(chǎn)品:無掩模光刻機(jī),超高精度3D光刻機(jī),多模態(tài)光電顯微鏡,磁光克爾顯微系統(tǒng),3D顯微鏡
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