當前位置：安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>鍍膜設(shè)備>> 實驗級蒸鍍機EV400A 蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地合肥市
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更新時間：2026-03-19 19:56:37瀏覽次數(shù)：112次
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RIE280感應(yīng)式反應(yīng)刻蝕系統(tǒng)
| 基本信息 | ||
| 項目 | 參數(shù) | 備注 |
| 基板尺寸 | 100x100mm/25x25mm | 根據(jù)基板定制 |
| 旋轉(zhuǎn)速率 | 0-30 rpm |
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| 基板高度調(diào)節(jié) | 0-150mm |
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| 設(shè)備整體尺寸 | 4600x620x2300mm |
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| 蒸發(fā)舟數(shù)量 | 10個 |
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| 低溫蒸發(fā)源 | 5-20cc @400℃ |
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| 高溫蒸發(fā)源 | 5-40cc @1400℃ |
|
| 前級泵 | 20000L/min 干泵 | 可選配 |
| 主泵 | 1700 L/s 分子泵 | 可選配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
|
本系統(tǒng)可滿足工藝過程驗證有機及金屬材料，滿足研究過程中對于材料真空蒸鍍的初期性能參數(shù)確認，并可滿足兩種材料共蒸。
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