納茲克儀器(江蘇)有限公司
產(chǎn)品型號NS3600
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地泰州市
聯(lián)系方式:顧經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間:2026-09-02 13:06:19瀏覽次數(shù):53次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 儀表網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 放大倍數(shù) | 150,150 |
|---|---|---|---|
| 放大倍數(shù) | 150,150 | 加工定制 | 是 |
| 適用行業(yè) | 電子電器 | 物鏡放大倍數(shù) | 150 |
NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。
NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):
高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
實(shí)時(shí)CCD明場和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
Software (軟件):

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如
-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案
-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

Specifications(規(guī)格):
Model | Microscope NS-3600 | 備注 | ||||
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
觀察/ 測量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
WD: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
| 數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
觀察/測量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測量 | 測量掃描范圍 | 10mm | ||||
顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重復(fù)率 σ | 0.02 μm | 注1 | ||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm | ||||
重復(fù)率 3σ | 0.03 μm | 注 2 | ||||
幀記憶 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
單色圖像 | 12 bit | |||||
彩色圖像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度測量 | 16 bit | |||||
幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
線掃描 | ~8 kHz | |||||
激光接收元件 | PMT (光電倍增管) | |||||
激光 | 波長 | 638nm (2mW) | ||||
光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 彩色圖像 CCD 傳感器 | ||||
記錄分辨率 | 1296x966 | |||||
數(shù)據(jù)處理單元 | PC | |||||
電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
電流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 顯微鏡 | 大約. ~50 kg (測量頭大約: ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系統(tǒng) | 氣浮隔振 | Option | ||||
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