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行業(yè)產(chǎn)品

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鉑悅儀器(上海)有限公司


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探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號DEKATK150

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:王小姐查看聯(lián)系方式

更新時間:2018-05-16 10:00:28瀏覽次數(shù):496次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:103條

所在地區(qū):上海

聯(lián)系人:王小姐

產(chǎn)品簡介

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身,該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)*,以重現(xiàn)性*和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍zui大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項,用于程序化測量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀(探針式)

詳細(xì)介紹

 

 
規(guī)格:
測試技術(shù):探針輪廓技術(shù)
測試功能:二維表面輪廓測試
樣品視場:640*480像素,USB;17 inc 平板顯示器
探針傳感器:低慣量傳感器(LIS 3)
探針壓力:使用LIS 3傳感器:1至15 mg
          使用N-lite傳感器:0.03至15 mg
探針選項:探針曲率半徑可選范圍:50 nm至25 um;
          高徑比針尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺:手動X/Y/@:100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn),可手動校平;
            可選Y自動移動載物臺,100 mm行程,1um重現(xiàn)性,0.5 um分辨率;
            可選X-Y自動移動載物臺,150 mm行程;
            1um重現(xiàn)率,0.5 um 分辨率
計算機(jī)系統(tǒng):主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件:Dektak軟件
      臺階檢測軟件
      可選應(yīng)力測量軟件
      可選三維Vision分析軟件
      可選縫合軟件
減震裝置:可選桌式震動隔離裝置
          可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點zui多12萬數(shù)據(jù)點
zui大樣品厚度高達(dá)90 mm (4英寸),取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍:標(biāo)準(zhǔn)524um(0.02英寸);可選1mm
垂直分辨率:zui大1A(6.55um垂直范圍下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
電源要求:
輸入電壓: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

關(guān)鍵詞:顯示器 標(biāo)準(zhǔn)
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