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行業(yè)產(chǎn)品

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鉑悅儀器（上海）有限公司


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探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK150

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號DEKATK150

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：王小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2018-05-16 10:00:28瀏覽次數(shù)：496次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：103條

所在地區(qū)：上海

聯(lián)系人：王小姐

產(chǎn)品簡介

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)*，以重現(xiàn)性*和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍zui大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用于程序化測量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）

詳細(xì)介紹

 

 
規(guī)格：
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
          使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
          高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
            可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
            可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
            1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機(jī)系統(tǒng)：主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
      臺階檢測軟件
      可選應(yīng)力測量軟件
      可選三維Vision分析軟件
      可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
          可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點zui多12萬數(shù)據(jù)點
zui大樣品厚度高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

關(guān)鍵詞：顯示器 標(biāo)準(zhǔn)
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