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RLE系統(tǒng)是的零差激光干涉測(cè)量系統(tǒng),特別為位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)

RLE系統(tǒng)是的零差激光干涉測(cè)量系統(tǒng),特別為位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)。每套R(shí)LE系統(tǒng)均包含一個(gè)RLU激光裝置和一個(gè)或兩個(gè)RLD10發(fā)射頭,具體型號(hào)取決于特定應(yīng)用的要求。
RLU激光裝置有單軸或雙軸兩種配置可選,包括HeNe(氦/氖)激光源、用于穩(wěn)頻的電子器件、光纖傳導(dǎo)裝置和軸位置反饋電子器件。
RLU10激光裝置
RLU10在任意一個(gè)小時(shí)內(nèi)的激光穩(wěn)頻精度為±50 ppb,其性能水平適合大部分非真空環(huán)境應(yīng)用。
特性與優(yōu)點(diǎn)
將RLU10與適合所需應(yīng)用的雷尼紹發(fā)射頭 (RLD) 結(jié)合使用具有以下特性與優(yōu)點(diǎn):
-簡(jiǎn)單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu): 利用雷尼紹的光纖傳導(dǎo)系統(tǒng)
-快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直: RLD發(fā)射頭允許激光光束直接射向測(cè)量軸
-結(jié)構(gòu)緊湊且設(shè)定輕松: 系統(tǒng)占用空間極少,安裝時(shí)間極短
RLU20激光裝置
RLU20在任意一個(gè)小時(shí)內(nèi)的激光穩(wěn)頻精度為±2 ppb,能夠?yàn)榇蟛糠终婵窄h(huán)境應(yīng)用提供測(cè)量性能。
特性與優(yōu)點(diǎn)
將RLU20與適合所需應(yīng)用的雷尼紹發(fā)射頭 (RLD) 結(jié)合使用具有以下特性與優(yōu)點(diǎn):
-簡(jiǎn)單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu): 利用雷尼紹的光纖傳導(dǎo)系統(tǒng)
-快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直: RLD發(fā)射頭允許激光光束直接射向測(cè)量軸
-結(jié)構(gòu)緊湊且設(shè)定輕松: 系統(tǒng)占用空間和安裝時(shí)間均較少
RLD10平面鏡干涉儀
RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、獨(dú)特的多通道條紋檢測(cè)系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號(hào)。
特性與優(yōu)點(diǎn)
-雙軸解決方案: 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺(tái)應(yīng)用的理想解決方案。
-高分辨率: 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比,平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應(yīng)用。
-敏感環(huán)境: 還提供低功率型號(hào)的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD額定值(即 < 2 W)的應(yīng)用。
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