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主動隔振平臺（SEM/TEM/UHV-STM主動減振系統(tǒng)）

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更新時間：2026-04-17 09:33:43瀏覽次數(shù)：62次

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產品簡介

通常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（massM）和一個彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動

詳細介紹

通常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動，通常被動減振體系會設計成 2 Hz 到 5 Hz 的本征頻率和 1%到 5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù) sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋作用于減振裝置，這樣大大提高了減振的效果。

較主動隔振系統(tǒng)采用的慣性振動傳感器、的控制算法和較的壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。
較初設計用于隔離半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究中心）中較敏感儀器的行業(yè)標準解決方案。

通用應用領域：
掃描探針顯微技術，納米力學探針，掃描電子顯微技術，共聚焦顯微術，較高真空掃描隧道顯微術，激光掃描顯微鏡，液晶生產設備，半導體檢測儀器，膜片鉗（Patch-Clamp）技術，光學輪廓儀，生命科學顯示平臺，顯微硬度檢測儀，光學干涉儀，超微量天平等等