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布魯克斯/Brooks 氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、...
?易維護(hù)?快速響應(yīng)設(shè)定變化?可忽略過沖/下沖影響?可拆除傳感器?對安裝方位不要求?較大的流量控制范圍（大可達(dá)30 sl/min N2）?外置零點(diǎn)和量程調(diào)節(jié)電位器...
SLAMF50_防爆型數(shù)模橡膠密封質(zhì)量流量控制器（30C51L）數(shù)模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of ...
BROOKS MFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)MODEL型號：GF100CXXCGAS氣體：1%PH3/N2FLOW RANGE流量: 200SCCMINPUT PRES...
BROOKS MFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)MODEL型號：GF100CXXCGAS氣體：1%PH3/N2FLOW RANGE流量: 200SCCMINPUT PRES...
美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)...
質(zhì)量流量計(jì)（30C51L）布魯克斯/Brooks氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PV...
美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)...
5861E質(zhì)量流量計(jì)5863E質(zhì)量流量計(jì)5853E質(zhì)量流量控制器5851E質(zhì)量流量控制器5850E質(zhì)量流量控制器SLA5850S質(zhì)量流量控制器數(shù)字型SLA585...
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品*小流量范圍可達(dá)0~10sccm...
1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S（Full Scale）3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 響...
5861E質(zhì)量流量計(jì)5863E質(zhì)量流量計(jì)5853E質(zhì)量流量控制器5851E質(zhì)量流量控制器5850E質(zhì)量流量控制器5851EM質(zhì)量流量控制器5850EM質(zhì)量流量控...
5861E質(zhì)量流量計(jì)5863E質(zhì)量流量計(jì)5853E質(zhì)量流量控制器5851E質(zhì)量流量控制器5850E質(zhì)量流量控制器SLA5850S質(zhì)量流量控制器數(shù)字型SLA585...
美國BROOKS布魯克斯流量計(jì) 布魯克斯質(zhì)量流量計(jì) 布魯克斯轉(zhuǎn)子流量計(jì) 布魯克斯浮子流量計(jì) 布魯克斯質(zhì)量流量控制器/計(jì)
美國BROOKS布魯克斯流量計(jì)布魯克斯質(zhì)量流量計(jì) 布魯克斯轉(zhuǎn)子流量計(jì) 布魯克斯浮子流量計(jì) 布魯克斯質(zhì)量流量控制器/計(jì) 壓力控制器 壓力變送器 LC橢圓齒輪流量計(jì)...
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