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BROOKS布魯克斯SLA5850S質(zhì)量流量計(jì) 返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào)SLA5850S

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所在地西安市

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更新時(shí)間：2026-08-28 10:42:37瀏覽次數(shù)：2617次

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產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)

BROOKS質(zhì)量流量計(jì)/控制器: BROOKS 4800系列 BROOKS SLAMF防爆型系列 BROOKS SLA5800數(shù)字型系列 BROOKS GF數(shù)字型系列 BROOKS 5860系列 BROOKS 5850系列

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

材質(zhì)	不銹鋼	產(chǎn)地	進(jìn)口
加工定制	否	適用介質(zhì)	氣體

5861E質(zhì)量流量計(jì)
5863E質(zhì)量流量計(jì)
5853E質(zhì)量流量控制器
5851E質(zhì)量流量控制器
5850E質(zhì)量流量控制器
SLA5850S質(zhì)量流量控制器數(shù)字型
SLA5851S質(zhì)量流量控制器數(shù)字型
SLA5853S質(zhì)量流量控制器數(shù)字型
GF100特氣質(zhì)量流量控制器

詳情介紹

DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
按照半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)高性能組件進(jìn)行七次連續(xù)測(cè)試以確保其可靠性
表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥
MultiFlo™ 技術(shù)可在 60 秒內(nèi)完成新過(guò)程氣體和/或量程的設(shè)定操作 – 不再需要拆除并校準(zhǔn) MFC
*零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
穩(wěn)定時(shí)間：500 ms - <1 秒
滿量程流速高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路： Ra 表面處理的流路
耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測(cè)量結(jié)果的可重現(xiàn)性
MultiFlo™ 氣體和量程設(shè)定功能 — 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類(lèi)型和各種量程組合的需求，無(wú)需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
本地顯示屏
可選 SDS 氣體輸送
DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
半導(dǎo)體蝕刻工具
薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)