為了獲得具備電磁屏蔽能力的 PPS, PEEK等高分子輕量化材料, 但 PPS, PEEK 導(dǎo)電性能差、無電磁波屏蔽能力或者達不到理想的屏蔽效果, 因此, 某機構(gòu)采用磁控濺射鍍膜工藝對 PPS、PEEK 等材料結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品表面進行金屬化處理.

其工藝主要分為前處理、鍍膜、后處理等三個環(huán)節(jié). 

前處理需要對 PPS/PEEK 待鍍襯底面進行 Hall 離子源清洗, 該機構(gòu)采用伯東 KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對 PPS/ PEEK 襯底面進行清洗.

KRI 考夫曼 霍爾離子源 Gridless eH 3000 主要技術(shù)參數(shù):

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10^-5 Pa, 經(jīng)推薦采用伯東經(jīng)濟型分子泵組 HiCube 30 Eco, 其技術(shù)參數(shù)如下： 

運用結(jié)果：

1. KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對襯底面良好的清洗, 提高了膜層的附著力

2. 經(jīng)濟型分子泵組 HiCube 30 Eco快速將本底真空抽到 1×10^-5 Pa, 并穩(wěn)定保持整個過程的真空度

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商.