高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀（E-beam Evaporator）
550S 面議上海續(xù)波光電技術有限公司
上海續(xù)波光電技術有限公司
可以用于沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜，目前主要超導量子實驗室均使用該設備制備超導結（量子比特和約瑟夫森結）和量子器件，可以制備大面積、高度穩(wěn)定性和可重復性超導結。更詳細信息或資料，請咨詢我們！
*配置：
蒸發(fā)腔體：
泵裝置：低溫泵/TMP+ 葉片泵/干泵；
真空度通常10-8Torr
電子束蒸發(fā)源：6-15KW
Load lock預真空進樣室：
泵裝置：TMP+葉片泵/干泵，
真空度<10-7 Torr
襯底支架：可加載4英寸襯底
襯底3D轉動
襯底傾斜：角度范圍請咨詢, 精度和重復性優(yōu)于0.1°（可升級）；
襯底旋轉：20rpm.
氣體接口：注射氧氣及其他氣體來實現清潔和氧化過程
襯底清洗：配備離子槍
石英晶振膜厚控制儀；
頻率分辨率：10-4Hz或更優(yōu)
速率控制分辨率: 0.01 ?/s；
厚度分辨率: 0.01?
全自動軟件包，支持半自動和手動模式，支持遠程網絡操作和維護。
典型用戶：Yale University、UCSB、普林斯頓大學、University of Waterloo、法國科學研究中心、University of Glasgow、日本NTT、清華大學等
！
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