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愛德華螺桿真空泵IH80/160維修

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廣東省東莞市品雅真空設(shè)備有限公司

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詳細(xì)介紹

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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵設(shè)備維修15年，一直秉承著專業(yè)的維修技術(shù)，高效的服務(wù)態(tài)度來對(duì)待可以，常年服務(wù)去漢能，中車集團(tuán)，富士康集團(tuán)，信利集團(tuán)等，有著專業(yè)的維修設(shè)備和技術(shù)人員，可以全國(guó)范圍內(nèi)上門維修保養(yǎng)，提供各種進(jìn)口真空泵配件及維修包，真空泵油脂等。

愛德華螺桿真空泵IX80/160產(chǎn)品功能與優(yōu)勢(shì)：
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

技術(shù)參數(shù)

峰值速度	103 m3h-1
	61 cfm
	1717 l min-1
極限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進(jìn)氣口連接	ISO63
出口連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	240 kg
極限功率輸入	2.7 kW
電機(jī)額定功率	3.5 kW
油容量	0.7 l

IH160技術(shù)參數(shù)：

峰值速度	165 m3h-1
	97 cfm
	2750 l min-1
極限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進(jìn)氣口連接	ISO63
出口連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	244 kg
極限功率輸入	3.1 kW
電機(jī)額定功率	5.0 kW
油容量	0.85 l