詳細(xì)摘要： 對多路氣體進(jìn)行混合，單獨(dú)控制每路氣體流量，達(dá)到要求的混合比例或濃度，精度高，穩(wěn)定性好，可實(shí)現(xiàn)電腦軟件自動化控制
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