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快速定量陰極熒光 CL-SEM系統(tǒng) Allalin

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)介Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極熒光的突破性技術(shù)，它將光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡（SEM）集成到一個(gè)系統(tǒng)中

詳細(xì)介紹

簡(jiǎn)介

Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極熒光的突破性技術(shù)，它將光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡（SEM）集成到一個(gè)系統(tǒng)中。Allalin允許“不折不扣"的大視場(chǎng)/快速掃描同時(shí)獲得掃描電鏡成像與高光譜或全色CL圖。該系統(tǒng)的構(gòu)建是為了在不犧牲掃描電鏡（SEM）性能的前提下獲得的陰極熒光性能：光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡的物鏡被周密的整合在一起，使它們的焦平面相互匹配；光學(xué)顯微鏡以亞微米精度加工，與傳統(tǒng)的CL技術(shù)相比，具有高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）的消色差、高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）檢測(cè)，在大視場(chǎng)（高達(dá)300µm）下具有*的光子收集效率。因此，定量陰極熒光，其中與儀器相關(guān)的工件可以從本質(zhì)上排除作為光譜特征或?qū)Ρ榷鹊脑颍@使陰極熒光變的可信。

Allalin是為那些需要遵循嚴(yán)格的技術(shù)路徑和快速獲取非常精確的光譜信息而設(shè)計(jì)的，而這些信息是傳統(tǒng)方法無法企及的。在半導(dǎo)體故障分析、開發(fā)和研究中，Allalin的光譜測(cè)量能力為快速可靠的缺陷檢測(cè)和定位提供了的解決方案。

關(guān)鍵詞：光譜儀光學(xué)顯微鏡電子顯微鏡顯微鏡

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