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Attolight 時(shí)間分辨精細(xì)陰極發(fā)光分析 SEM-CL

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Attolight 時(shí)間分辨精細(xì)陰極發(fā)光分析 SEM-CL

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域

– LED的性能和可靠性

– GaN功率晶體管

– 線位錯(cuò)密度(TDD)

– 載流子壽命測(cè)試和動(dòng)力學(xué)

– 晶體缺陷研究

– 太陽(yáng)能電池的效率

– 納米尺度光電器件的研發(fā)

– 寬禁帶半導(dǎo)體研究

設(shè)備特點(diǎn)

? 可實(shí)現(xiàn)定量測(cè)量的陰極熒光分析系統(tǒng)SEM-CL

? 300μm直徑的視場(chǎng)

? 優(yōu)于10nm的空間分辨率

? 10ps的時(shí)間分辨率

? Schottky場(chǎng)發(fā)射槍（連續(xù)系統(tǒng)）和皮秒脈沖光電槍（時(shí)間分辨模式）

? 樣品溫度范圍：20K-300K，位移精度1nm

工作模式

? 光學(xué)顯微鏡成像

? 陰極熒光測(cè)繪（多色，單色和高光譜）

? 二次電子測(cè)繪

? 時(shí)間分辨陰極熒光（時(shí)間分辨選項(xiàng)）

? 二次電子和陰極熒光同步測(cè)繪

關(guān)鍵詞：光學(xué)顯微鏡
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