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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度 光學(xué)常數(shù)分析。 可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。...
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