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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司資料大小
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產(chǎn)品簡介：
空氣制冷卡盤系統(tǒng)，使用加壓空氣對卡盤進行主動冷卻。由于它在卡盤內不使用帕爾貼元件或液氮等流體，因此它已成為業(yè)內不折不扣的可靠性和高溫穩(wěn)定性的代名詞。因其安靜的純空氣運行和高絕緣性而被證明特別適用于低噪音測試。其優(yōu)雅的結構使其成為高溫測試以及高平面和高壓應用開發(fā)的理想選擇。
可選尺寸規(guī)格：6英寸（150mm直徑）8英寸（200mm直徑）?12英寸（300mm直徑）
功能特點：
JKZC-ISC系列配備了穩(wěn)定的氣體冷卻和相應的冷卻機，提供了一個非常廣泛的測試溫度范圍。
僅使用空氣冷卻--無液體或帕爾貼元件
溫度范圍為-60°C到300°C
可選三同軸接口，以實現(xiàn)pA測試
冷卻劑占地面積小，節(jié)省空間無需額外的吹氣裝置
結構緊湊，可集成各大主流生產(chǎn)型或是分析型探針臺兼容
可集成全套的軟硬件于一體
可編程控溫，涵蓋不同溫度段（具體由選擇型號而定）
通過觸摸屏或軟件編程，實現(xiàn)多段溫度曲線設定、自動保存數(shù)據(jù)
卡盤盤面材質可按需求提供
可提供軟件SDK開發(fā)包
溫控卡盤種類（可多選）或按您的需求定制
溫控參數(shù)：
可用的溫度上限 | +150℃至 +300℃ |
可用的溫度下限 | -60 （200 mm），-55℃ （300 mm） |
卡盤溫度顯示分辨率 | 0.001℃ |
下限溫度選擇步驟 | 0.1℃ |
溫度精度 | ±0.1?℃ |
冷卻劑 | 空氣（用戶提供） |
卡盤頂部和 GND 之間的電壓 | 500 V DC（可提供高達 10 kV 的高壓選項） |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） |
卡盤表面電鍍 | 鎳（提供金或非導電） |
300 mm系統(tǒng)的冷卻速率 | +150℃至+25℃:25 分鐘 +200°C至 +25°C: 30 分鐘 +300°C至 +25°C: 40 分鐘 +25°C至 -20°C: 15 分鐘 +25°C至 -40°C: 35 分鐘 +25°C至-55°C:65 分鐘 |
300 mm系統(tǒng)的加熱速率 | -55°C至 +25°C: 12 分鐘 -40°C至 +25°C: 10 分鐘 +25°C至 +150°C:20 分鐘 +25°C至+200°C:28分鐘 +25°C至+300°C:40 分鐘 |
溫度均勻性 | -55 °C 至 +200 °C < ±0.5 °C > 200 °C < ±0.5 % |
臺面平面度 | 55 °C 至 +300 °C < ±12μm（可根據(jù)用戶要求定制更緊密的范圍） |
軟件功能 | 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
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