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JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動...

五軸重載荷壓電平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌...

JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率...

JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米何服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨...

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級...

Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動...

Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動...

六自由度調(diào)臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應大氣和真空環(huán)境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。

音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運動機構。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動。可以實現(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸...

JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-X-16B單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

壓電螺釘以自身超遠行程、高穩(wěn)定性、納米級分辨率和斷電自鎖等優(yōu)勢，能夠?qū)崿F(xiàn)應用于精密的納米運動平臺系統(tǒng)以及免接觸緊湊封裝型光學調(diào)整裝置。

JKZC-XY-16A雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-XY-16B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-XY-100A 雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

大口徑快反鏡采用差分驅(qū)動與差分傳感設計，通過負載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運動實現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應速度快，控制精度高，動態(tài)性能好。

單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。