運動方向

Z

Z

驅動控制

1路驅動，1路傳感

1路驅動

標稱行程范圍（0 ~120 V）

200

200

µm±10%

Max.行程范圍（0~150V）

250

250

µm±10%

傳感器類型

SGS

-

分辨率

7

0.25

nm

閉環(huán)線性度

0.4

-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.1

-

%F.S.

空載諧振頻率

260

260

Hz±20%

承載能力

水平安裝

1

1

kg

立式安裝

0.05

0.05

倒置安裝

0.1

0.1

靜電容量

21.6

21.6

μF±10%

材質

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

0.4

0.4

kg±20%

釋義

 將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。

PS：參數(shù)表中承載能力默認方向

 將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行

PS：存在多種立式安裝方式，技術參數(shù)對應承載

將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方

示意圖

備注

當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口