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產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電
納米定位臺 6.8μm

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

產(chǎn)品介紹

JKZC-P63.Z直驅(qū)壓電平移臺，是一維Z軸運(yùn)動高分辨率壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、 1~3維自由組合 2、位移行程6.8μm 3、亞毫秒響應(yīng)時間

4、承載0.8kg 5、重復(fù)定位精度可達(dá)納米級 6、真空版本可選

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

快速響應(yīng)、可選閉環(huán)傳感

JKZC-P63 系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為 AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達(dá) 0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

應(yīng)用實(shí)例：納米切削

JKZC-P63系列三維壓電納米定位臺已廣泛應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力測試實(shí)驗(yàn)中。

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

產(chǎn)品應(yīng)用

1、光纖端面檢測 2、納米壓印 3、納米計(jì)量

4、微操控 5、納米光刻 6、干涉法/ 掃描顯微/納米定位

7、生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) 8、質(zhì)量保證測試

JKZC-P63系列產(chǎn)品

JKZC-P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運(yùn)動方式可選。小體積易于集成配套。

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

技術(shù)參數(shù)

型號	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)		JKZC-P63.Z7S	JKZC-P63.Z7K	單位
運(yùn)動自由度			Z	Z
驅(qū)動控制			1路驅(qū)動，1路傳感	1路驅(qū)動
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）			5.5	5.5	μm±10%
Max.行程范圍（0~150V）			6.8	6.8	μm±10%
傳感器類型			SGS	-
閉/開環(huán)分辨率			0.2	0.1	nm
閉環(huán)線性度			0.4	-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度			0.2	-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動			<5	<5	μrad
推/拉力			12/2	12/2	N
運(yùn)動方向剛度			2	2	N/μm±20%
空載諧振頻率			2.5	2.5	kHz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間			1.5	0.3	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率		10%行程	1000	1000	Hz±20%
閉環(huán)空載工作頻率		100%行程	200	200	Hz±20%
承載能力		水平安裝	0.8	0.8	kg
		立式安裝	0.05*	0.05*	kg
		立式安裝	0.05	0.05	kg
靜電容量			0.8	0.8	μF±20%
材質(zhì)			鋁	鋁
重量			70	70	g±5%

*立式方向安裝時，其負(fù)載上限取決于具體安裝方向。

安裝方向	水平安裝	立式安裝	倒置安裝
釋義	將PZT平臺水平放置安裝，運(yùn)動面位于PZT平臺的上方，運(yùn)動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向	將PZT平臺立式放置安裝，運(yùn)動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載	將PZT平臺水平放置，但運(yùn)動面位于定位臺的下方
示意圖
備注	當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口