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石墨盤專用真空烤盤爐 電爐

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2025-08-08 08:47:40瀏覽次數(shù):483次

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產(chǎn)品介紹:真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)

產(chǎn)品介紹:真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。


技術(shù)參數(shù):

使用溫度

1450℃

溫度

1500℃

絕熱材料

石墨纖維毯、石墨紙

馬弗材料

SUS304

加熱元件

石墨加熱棒

冷卻方式

氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫

控溫穩(wěn)定度

±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能

爐膛溫度均勻度

±5℃(恒溫1550℃)

控溫?zé)崤?/span>

Wre5

升溫速率

15℃/min(空載)

控溫點(diǎn)數(shù)

1點(diǎn)

降溫速率

1450℃至80℃,240分鐘

監(jiān)測(cè)點(diǎn)數(shù)

1點(diǎn)

極限真空

10-3torr級(jí)

氣氛

可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)猓兌权R99.999%

抽氣速率

空載下,30min達(dá)到10-2torr

報(bào)警保護(hù)

超溫、斷偶、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)

設(shè)備顏色

電腦駝灰色

電源

容量大于160KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz

參考型號(hào)

MOLKP-518(W710×H710×D1000mm)

MOLKP-1000(W1000×H1000×D1000mm)

MOLKP-1200(W1000×H1000×D1200mm)




*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

 真萍科技作為專業(yè)的熱處理設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶工藝需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶。

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