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海德漢光柵尺的測量原理與測量基準(zhǔn)

來源:夏羅登工業(yè)科技(上海)有限公司   2018年06月27日 11:06  

 海德漢直線光柵尺在發(fā)貨前全部會(huì)進(jìn)行精度和功能檢驗(yàn)。

  精度檢定在兩個(gè)運(yùn)動(dòng)方向上執(zhí)行。精心選擇的測量位置數(shù)能確保準(zhǔn)確確定大測量范圍誤差和單信號(hào)周期內(nèi)的位置誤差。

  檢驗(yàn)合格證是每個(gè)光柵尺或編碼器符合系統(tǒng)精度要求的證明。檢定標(biāo)準(zhǔn)符合國家或*標(biāo)準(zhǔn)要求,能確保滿足EN ISO9001的可追溯性要求。

  海德漢LIP和PP系列光柵尺的檢定記錄圖還提供整個(gè)測量范圍的位置誤差。也提供測量參數(shù)和檢定測量的不確定性數(shù)據(jù)。

  溫度范圍

  檢定直線光柵尺時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)溫度為20 °C。

  測量基準(zhǔn)

  海德漢公司的光學(xué)掃描海德漢光柵尺,海德漢編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。

  這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。

  海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。

  • AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μm

  • METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm

  • DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)

  • SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵線條;*抗污能力;典型柵距不超過8 μm

  • OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵線條,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm

  這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法,這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。

  母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造。

  測量法

  測量法是指編碼器通電時(shí)就立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息來自光柵碼盤,它由一系列碼組成。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)用于在細(xì)分后得到位置值,同時(shí)也生成供選用的增量信號(hào)(與接口類型有關(guān))。

  增量測量法

  增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計(jì)算自某個(gè)設(shè)置的原點(diǎn)開始的增量數(shù)(測量步距數(shù))獲得。由于必須用參考點(diǎn)確定位置值,因此測量基準(zhǔn)的光柵尺上還刻有一個(gè)參考點(diǎn)軌。參考點(diǎn)確定的光柵尺帶的位置值可以到一個(gè)信號(hào)周期。因此,必須通過掃描參考點(diǎn)建立基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。

  差情況時(shí),機(jī)床需要移動(dòng)測量范圍上的較大部分。為加快和簡化“參考點(diǎn)回零”操作,許多海德漢光柵尺刻有距離編碼參考點(diǎn),這些參考點(diǎn)彼此相距數(shù)學(xué)算法確定的距離。移過兩個(gè)相鄰參考點(diǎn)后(一般只需運(yùn)動(dòng)數(shù)毫米(見下表),后續(xù)電子電路就能找到參考點(diǎn)位置。

  凡型號(hào)后有字母“C”的編碼器為距離編碼參考點(diǎn)(例如LIP 581 C)

  距離編碼參考點(diǎn)的參考點(diǎn)R位置用兩個(gè)參考點(diǎn)間信號(hào)周期數(shù)和以下公式計(jì)算:

  P1 = (abs R–sgn R–1) x N/2 + (sgn R–sgn D) x (abs MRR/2)

  和

  R = 2 x MRR–N

  其中:

  P1 = 個(gè)移過的參考點(diǎn)位置,信號(hào)周期數(shù)

  abs = 值

  sgn = 代數(shù)符號(hào)(“+1”或“–1”)

  MRR = 移過的兩個(gè)參考點(diǎn)間的信號(hào)周期數(shù)

  N = 兩個(gè)固定參考點(diǎn)間的名義增量值,信號(hào)周期數(shù)(見下表)

  D = 運(yùn)動(dòng)方向(+1或–1)。讀數(shù)頭向右運(yùn)動(dòng)(正確安裝時(shí))等于+1

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