P77.D6壓電式移相器是專為光學(xué)檢測移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，中心通孔直徑為65mm，正立、側(cè)臥、倒置使用的承載能力分別可達(dá)5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅(qū)式結(jié)構(gòu)，保證了出力性能，同時(shí)內(nèi)部優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，對壓電陶瓷也起到了的保護(hù)作用，確保了使用壽命。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維Z向運(yùn)動

• 行程可達(dá)17μm

• 承載可達(dá)5kg

• 通孔直徑：65mm

• 可正立/倒置/側(cè)臥使用

典型應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 干涉/測量

• 精密定位

• 移相器

• 光學(xué)捕獲

高精度、大承載

P77.D6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，利用有限元分析優(yōu)化，使其具有超高分辨率。同時(shí)閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對位移實(shí)時(shí)監(jiān)測反饋，實(shí)現(xiàn)納米級的重復(fù)定位精度及線性度。

中心通孔直徑65mm，非常適于大口徑移相干涉應(yīng)用。

電壓與位移曲線

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用案例

芯明天P77系列壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。