AWM2000系列微橋型氣體流量傳感器是一個(gè)無源器件，由2個(gè)惠斯通電橋組成，并具有雙向傳感的能力，按照技術(shù)要求，工作時(shí)需要一個(gè)加熱器控制電路，和一個(gè)傳感電橋饋電電路。傳感器中沒有這兩個(gè)電路，需用戶自己設(shè)計(jì)。差動(dòng)放大器是傳感電橋一個(gè)有用的接口。它可用來對傳感器輸出引入增益和電壓補(bǔ)償。信號調(diào)節(jié)：非放大型（輸出-44,5mVdc至44,5mVdc)壓力孔型式：直通型傳感器電阻：5K歐流量/壓力范圍參考型號+_200sccmAWM2100V+-4.0英寸水柱(10mBar)AWM2200V+-1000sccm(1SLPM)(每分鐘1標(biāo)準(zhǔn)升)AWM2300V

 

    AWM3000系列如同2000系列，是由雙惠斯頓電橋控制空氣流量的測量，該AWM3000系列為放大型，所以，它可用來對傳感器輸出提高增益和引入電壓補(bǔ)償。加熱器控制電路和傳感電橋饋電電路都集成在傳感器中。信號調(diào)節(jié)：放大型（輸出1Vdc至5Vdc）壓力孔型式：直通型流量/壓力范圍參考型號+_200sccmAWM3100V+_2.0英寸水柱(5mBar)AWM3200V+_0.5英寸水柱AWM3201CR+_1000sccm(1SLPM)AWM3300V+_1000sccm(1SLPM)雙向AWM3303V

 

    AWM40000系列微橋型氣體流量傳感器根據(jù)傳熱原理工作?？諝赓|(zhì)量流量橫穿過傳感器元件的表面。輸出電壓根據(jù)通過傳感器進(jìn)出口的空氣質(zhì)量流量或其他氣體質(zhì)量流量成比例地變化。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制空氣流量橫穿過微結(jié)構(gòu)傳感元件。組件的機(jī)械設(shè)計(jì)使它能容易地安裝在印刷電路板上。微橋型空氣質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含有先進(jìn)的微結(jié)構(gòu)技術(shù)獨(dú)特的硅芯片。它含有一個(gè)由加熱器和溫度敏感元件組成的薄膜，隔熱的電橋結(jié)構(gòu)。該電橋結(jié)構(gòu)對流過芯片的空氣或其它氣體的流量有靈敏快速的反應(yīng)。定位在中央加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件會批示流向以及流率（量）。微光微調(diào)的厚膜和薄膜電阻器使一臺器件與下一臺器件之彰有相容的互換性。AWM40000系列集中安裝多路測量設(shè)計(jì)，高的共模壓力（陶瓷管型）及寬工作溫度范圍（125度對于非放大型）擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。壓力孔型式：歧管信號調(diào)節(jié)流量范圍參考型號非放大型(8.5mV)+_25sccmAWM42150VH非放大型(54.7mV)+_1000sccm(1SLPM)AWM42300V放大型(1Vdc至5Vdc)+_1000sccm(1SLPM)AWM43300V放大型(1Vdc至5Vdc)+_6SLPMAWM43600V

 

    AWM5000系列-高流量AWM5000系列微電橋型氣體流量傳感器具有一個(gè)提供文丘里型流動(dòng)方式的外殼。這類傳感器測量的流量高達(dá)每分鐘20標(biāo)準(zhǔn)升（SLPM），同時(shí)只產(chǎn)生一個(gè)最大2.25英寸水柱的微壓降。微電橋芯片是與氣流直接接觸的。從而大大降低了因孔板或旁路通道堵塞而帶來（測量）的誤差的可能性。堅(jiān)實(shí)的塑性組件設(shè)計(jì)能承受高達(dá)50psi的共模壓力，而且小型傳感元件允許有100q的沖擊力而不會影響其性能。所包括的“AMP”兼容的連接器在要求高的應(yīng)用中能提供可靠的連接。每臺AWM5000型傳感器都含有放大、線性化、溫度補(bǔ)償和氣體校準(zhǔn)的電路。一個(gè)1至5Vdc的線性輸出可用于所有列于表內(nèi)的傳感器，與流量范圍（5,10,15或20SLPM)或校準(zhǔn)用氣（氨氣、二氧化碳、氧化亞氨或氬氣）無關(guān)。所有的校準(zhǔn)為激光校準(zhǔn)，大大增強(qiáng)了器件的一致性。信號調(diào)理：放大型（1Vdc至5Vdc)壓力孔形式：螺紋連接，1/4度NPT輸出接頭：引腳1+電源電壓引腳2接地引腳3未連接引腳4輸出電壓外殼底部的箭頭流向流量/壓力范圍參考型號0SLPM至5SLPM（N2校準(zhǔn)）AWM5101VN0SLPM至10SLPM（N2校準(zhǔn)）AWM5102VN0SLPM至20SLPM（CO2校準(zhǔn)）AWM5104VC0SLPM至20SLPM（N2校準(zhǔn)）AWM5104VN