電子束曝光技術(shù)是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
查看詳情電子束曝光技術(shù)是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域
查看詳情摘要 專業(yè)的沉積設(shè)備制造商,為各個領(lǐng)域的客戶提供*的薄膜沉積解決方案:電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)、分子束外延MBE、有機分子束沉積OMBD、等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)PECVD/ICP Etcher、電子回旋共振等離子體增強化學(xué)氣相沉積、離子泵等。
在線詢價摘要NRE-4000型RIE-PE刻蝕機:提供PC控制的PE刻蝕RIE刻蝕一體機,配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓...
在線詢價摘要NRE-3000型RIE-PE刻蝕機:PC控制的RIE刻蝕PE刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計...
在線詢價摘要NRE-3500型RIE-PE刻蝕機:PC控制的RIE刻蝕PE刻蝕一體機,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)...
在線詢價摘要 NIM-4000(M)離子銑刻蝕系統(tǒng):利用離子束轟擊固體表面的濺射作用,剝離加工各種幾何圖形,通過大面積離子源產(chǎn)生的離子束,可對固體材料濺射刻蝕,對固體器件進行微細加工。
在線詢價摘要NIE-4000(A)全自動IBE離子束刻蝕:如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。除非可以找到有效的...
在線詢價摘要 NDR-4000(A)全自動DRIE深反應(yīng)離子刻蝕:全自動上下載片,帶低溫晶圓片冷卻和偏壓樣品臺的深硅刻蝕系統(tǒng),帶8“ ICP源。系統(tǒng)配套500L/S抽速的渦輪分子泵,可以使得工藝壓力達到幾mTorr的水平。在低溫刻蝕的技術(shù)下,系統(tǒng)可以達到硅片的高深寬比刻蝕。
在線詢價摘要NRE-4000(ICPA)全自動ICP刻蝕系統(tǒng):自動上下載片,帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實現(xiàn)范圍廣泛的刻蝕工藝,包括刻蝕III-V化合物(如GaAs,InP,GaN,InSb)、II-VI化合物、介...
在線詢價摘要NRE-3000 反應(yīng)離子刻蝕機:PC控制的RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,真...
在線詢價摘要NRE-3500(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕機:自動上下栽片,PC控制的RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜,13“頂蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.2“觀察.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,真空泵可以達到10-6 To...
在線詢價摘要NRE-4000(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕:獨立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)...
在線詢價摘要 AMAT沉積刻蝕設(shè)備蝕刻機P5000由半導(dǎo)體設(shè)備廠商美國應(yīng)用材料公司(AppliedMaterials)生產(chǎn),P5000系統(tǒng)是一臺成功的以單晶片、多反應(yīng)室理念而設(shè)計的量產(chǎn)與研發(fā)均適用的半導(dǎo)體制程設(shè)備
在線詢價摘要 愛發(fā)科ICP刻蝕設(shè)備刻蝕系統(tǒng)NE-550EXz現(xiàn)貨,電極的刻蝕效果好,能夠進行正確穩(wěn)定的刻蝕重點效果檢測,具有維護便利、性能穩(wěn)定、產(chǎn)能優(yōu)良等特點
在線詢價摘要Hakuto 全自動離子蝕刻機 MEL3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 刻蝕均勻度: 5%, 硅片 Si 蝕刻速率 10 nm/min, 具有高冷卻效果.所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量.占用空間小, 容易維護和用戶操作友好...
在線詢價摘要上海伯東日本小型 Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE, 適用于科研院所, 實驗室研究, 干式制程的微細加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE 配置使用美國 KRI 8cm 考夫曼離子源, 蝕刻均勻性:...
在線詢價摘要上海伯東日本適合中等規(guī)模量產(chǎn)使用的 Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C. 無論使用什么材料都可以用來加工.蝕刻均勻性: 5%, 硅片 Si 刻蝕速率 20 nm/min, 樣品臺可選直接冷卻 / 間接冷卻, 0~90度旋轉(zhuǎn), 因此射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可...
在線詢價摘要上海伯東日本適合大規(guī)模量產(chǎn)使用的 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J, 無論使用什么材料都可以用來加工.Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 配置使用美國 KRI 20cm 考夫曼離子源, 蝕刻均勻性: 5%, 硅片 Si 刻蝕速率20 nm/min, 樣品...
在線詢價摘要 上海伯東日本離子蝕刻機 IBE 包含小型離子蝕刻機用于研究分析和大型離子蝕刻系統(tǒng)用于生產(chǎn)制造. Hakuto 離子蝕刻系統(tǒng)對磁性材料, 黃金, 鉑和合金金屬提供較佳蝕刻技術(shù). 它很容易做各種材料的蝕刻.上海伯東是日本伯東 Hakuto 離子蝕刻機 IBE 中國總代理
在線詢價摘要上海伯東日本適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE.蝕刻均勻性: 5%, 硅 Si 刻蝕速率20 nm/min, 樣品臺: 直接冷卻(水冷)0~90 度旋轉(zhuǎn).Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源產(chǎn)生轟...
在線詢價摘要 上海伯東日本*適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
在線詢價摘要 Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統(tǒng)在一臺儀器中對樣品完成冷凍斷裂、冷凍蝕刻和電子束鍍膜。通過旋轉(zhuǎn)冷凍式載臺,利用電子束進行高分辨率碳/金屬復(fù)合鍍膜,適用于任何TEM和SEM分析,可提供靈活的投影選擇。
在線詢價摘要 刻蝕設(shè)備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設(shè)備,該設(shè)備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
在線詢價摘要 電子束實驗儀 型號:LDX-HN-EB-II產(chǎn)品介紹: 該儀器是我廠根據(jù)我國教學(xué)大綱規(guī)定的內(nèi)容研制的分組實驗儀器,通過定量測量來研究電子在各種電場和磁場中運動變化規(guī)律。
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