芯明天放大機構(gòu)式壓電位移臺

P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺，它的移動范圍可達210µm，定位分辨率可達3nm。

 芯明天放大機構(gòu)式壓電位移臺P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用，在宏動平臺進行樣品位置的粗調(diào)后，再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達納米量級。

兩款規(guī)格型號、開環(huán)/閉環(huán)可選

P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇，分別為110μm及210μm，可根據(jù)精確調(diào)整的運動范圍進行選擇。

另外，P79系統(tǒng)可提供開環(huán)及閉環(huán)版本。開環(huán)版本定位速度更快，且分辨率更高；對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，裝配在平臺的位置，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了定位精度。

特性

• 一維Z向運動，zui大行程210μm            • zui大承載2kg          • 通孔尺寸：128.5×86.5mm                  

• 開環(huán)、閉環(huán)可選                                 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

應(yīng)用

       • 熒光顯微  • 共焦顯微  • 精密定位/樣品檢測  •光學(xué)捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計量  • 自動聚焦系統(tǒng)  • 表面檢測/3D成像  • 光學(xué)計量  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物科技