芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺P12壓電掃描臺特性

• 大位移320μm

• 大承載0.8kg

• 臺體中心通孔

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

1~3維掃描臺

   P12系列壓電納米定位臺為1~3維直線壓電掃描臺，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規(guī)格型號，通孔直徑25mm 或35mm可選。

小體積、大位移、中心通孔

   P12系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，超小的體 積外形，尺寸僅為60×60×24mm，可以實(shí)現(xiàn)大320μm 的掃描范圍，中心通孔可選25mm或35mm，35mm通孔 對應(yīng)臺體外形尺寸為70×70×24mm。

   臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計(jì)，具有零摩擦、超高 導(dǎo)向精度、納米級分辨率等優(yōu)點(diǎn)。

   P12系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷， 確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。

P12.Z300閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖 

   P12系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性，下圖為P12.Z300 大位移320μm閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖。 

P12壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 掃描干涉 • 共焦顯微

• 晶圓定位 • 表面測量

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學(xué)捕獲

P12壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。