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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>測量/計量>表面測量儀器>光學表面分析儀>1~3維精密壓電納米掃描臺 光學表面分析儀

PFV3D70-600U-S 1~3維精密壓電納米掃描臺 光學表面分析儀

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面議
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  • 型號PFV3D70-600U-S
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2025-11-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值55065
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上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。        上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內(nèi)*,打破國外對中國的技術壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。        上海納動納米位移技術有限公司在納米定位及運動控制技術方面擁有近十余年的產(chǎn)品研發(fā)技術經(jīng)驗團隊組成,并具有*的自主知識產(chǎn)權。產(chǎn)品涵蓋疊堆壓電陶瓷、機械封裝型壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電納米掃描臺、壓電平移臺、壓電偏擺臺、壓電Tip/Tilt平臺、壓電光束偏轉鏡、壓電旋轉臺、壓電升降臺、壓電顯微鏡樣品掃描臺、壓電物鏡聚焦定位器、壓電陶瓷驅動/控制器、機床微進給壓電平臺、多自由度并聯(lián)機構、壓電微調(diào)千分尺、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。        上海納動納米位移技術有限公司研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛適用于光學、光電子、生物設備、精密加工制造、航空技術、圖像處理、顯微鏡、半導體、自動對焦裝置等,并服務于國內(nèi)各高校、研究所及科研等領域從事前沿科學研究,產(chǎn)品得到用戶的*好評。我們基于現(xiàn)代科學技術發(fā)展和使用可靠的制造技術,使我們能夠創(chuàng)造*的產(chǎn)品,以滿足客戶的需求。

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制是 適用行業(yè)其他
1~3維精密壓電納米掃描臺采用單片金屬體鋁合金制成,采用了EDM電線腐蝕和其他精密機械手段構建,納米掃描臺該種設計使得運動有著近*的直線度和平面度,與使用壓電陶瓷管的納米掃描臺相比,它具有高機械強度并可球面納米掃描。
1~3維精密壓電納米掃描臺 光學表面分析儀 產(chǎn)品詳情

   1~3維精密壓電納米掃描臺采用單片金屬體鋁合金制成,采用了EDM電線腐蝕和其他精密機械手段構建,納米掃描臺該種設計使得運動有著近*的直線度和平面度,與使用壓電陶瓷管的納米掃描臺相比,它具有高機械強度并可球面納米掃描。

1~3維精密壓電納米掃描臺型號說明:

產(chǎn)品型號

PK3L60-080U

PK3L60-080U-S

公差

運動自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

標稱行程范圍(@0~+120V)

80 μm/軸

80 μm/軸

±20%

行程范圍(@-20~+150V)

100 μm/軸

100 μm/軸

±20%

分辨率

5 nm

7 nm

typ.

重復定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

線性度

-

0.15% F.S.

typ.

承載能力

6 N

6 N

Max.

剛度

0.8 N/μm

0.8 N/μm

±20%

諧振頻率

0g

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

±20%

靜電容量

1.6 μF/軸

1.6 μF/軸

±20%

工作溫度范圍

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驅動電壓范圍(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

線纜長度

1.5 m/軸

1.5 m/軸

±10mm

外形尺寸(LxH)

60×60×24 mm

60×60×24 mm

-

重量

180 g

180 g

±5%

本體材質(zhì)2

鋁(B)、鋼

鋁(B)、鋼

產(chǎn)品特點:
◆ 超薄的外形尺寸;
◆ 超大行程;
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng),有效消除側向運動分量;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。

產(chǎn)品規(guī)格
 XY范圍        100x100 µm
 zui小掃描步進       0.1 nm
 整范圍內(nèi)的角度傾斜    < 0001°
 zui大掃描速度    10 Hz(行/秒)
 zui大樣品重量       100g
 諧振頻率XY          1 kHz
 非線性殘余            ≤0.03%
 傳感器類型              電容傳感器
內(nèi)置TDC(時間數(shù)字轉換器)位數(shù)      24位

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